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石墨煅燒爐

石墨煅燒爐

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該設備主要(yao)用于多晶硅前處理工序，在高溫(wen)真(zhen)空環境下，對石墨(mo)電(dian)極、石墨(mo)基座、石墨(mo)卡瓣等(deng)進行煅燒，使(shi)石墨(mo)部件經酸洗、高溫(wen)烘干后仍(reng)殘余的水氣(qi)和(he)氯化鹽

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