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氣相沉積爐設備組成
發布時間：2016-11-23   瀏覽：2314次

　　氣相沉積爐整體(ti)(ti)結構(gou)采(cai)用井式(shi)碳化爐結構(gou)。主要(yao)由(you)爐體(ti)(ti)系統(tong)(tong)、控(kong)制系統(tong)(tong)、真空(kong)系統(tong)(tong)、冷卻系統(tong)(tong)、進氣系統(tong)(tong)、過濾系統(tong)(tong)、操作(zuo)平(ping)臺等(deng)部(bu)分組成組成。

　　氣相(xiang)沉(chen)積爐(lu)(lu)系統主(zhu)要由(you)爐(lu)(lu)蓋(gai)(gai)、爐(lu)(lu)體(ti)(ti)、爐(lu)(lu)底、保溫層(ceng)、發熱體(ti)(ti)、引電體(ti)(ti)組成，爐(lu)(lu)殼為(wei)圓柱形(xing)結(jie)構，分爐(lu)(lu)體(ti)(ti)和爐(lu)(lu)頂蓋(gai)(gai)、爐(lu)(lu)底三部分，主(zhu)要使(shi)用Q235鋼材，爐(lu)(lu)體(ti)(ti)、爐(lu)(lu)蓋(gai)(gai)、爐(lu)(lu)底均為(wei)夾層(ceng)水冷結(jie)構，夾層(ceng)內(nei)設置(zhi)(zhi)蛇形(xing)導流(liu)板，既可以(yi)引導水流(liu)流(liu)向又可以(yi)加強爐(lu)(lu)體(ti)(ti)壁抗(kang)壓能(neng)力，爐(lu)(lu)體(ti)(ti)上(shang)設置(zhi)(zhi)電極座、測溫座。抽氣口(kou)位(wei)于爐(lu)(lu)頂蓋(gai)(gai)或爐(lu)(lu)體(ti)(ti)側壁上(shang)。

　　加熱(re)及保溫(wen)(wen)層(ceng)，發(fa)熱(re)體(ti)采用帶式合(he)金發(fa)熱(re)體(ti)，分(fen)三個加熱(re)區，三角形加熱(re)，分(fen)布在爐腔四周;保溫(wen)(wen)層(ceng)：采用全(quan)纖維(wei)爐襯復合(he)保溫(wen)(wen)結構，既可以讓爐膛整潔成型(xing)又可以保持良好(hao)的(de)保溫(wen)(wen)性能，成型(xing)后的(de)保溫(wen)(wen)層(ceng)分(fen)別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維(wei)護非常(chang)方便(bian)。

　　氣(qi)相沉積爐(lu)的(de)爐(lu)膽(dan)采用高(gao)溫耐(nai)熱鋼(gang)，為保證高(gao)溫真空(kong)(kong)下的(de)工作強(qiang)度，采用雙真空(kong)(kong)結構。爐(lu)膽(dan)內外同時抽真空(kong)(kong)，并設(she)置手(shou)動(dong)及自動(dong)壓差閥。考慮真空(kong)(kong)放電(dian)現象，采用低電(dian)壓大電(dian)流的(de)供電(dian)方(fang)式(shi)。


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