真(zhen)空(kong)(kong)(kong)熔(rong)(rong)(rong)煉(lian)(lian)(lian)爐(lu)的(de)(de)(de)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)原理(li)(li)是(shi)什么(me) 　　真(zhen)空(kong)(kong)(kong)熔(rong)(rong)(rong)煉(lian)(lian)(lian)爐(lu)是(shi)生產(chan)合(he)金(jin)(永磁(ci)材(cai)料)的(de)(de)(de)專用(yong)設(she)備，是(shi)先進(jin)(jin)鑄片工(gong)(gong)(gong)藝(yi)取代傳動鑄錠工(gong)(gong)(gong)藝(yi)的(de)(de)(de)理(li)(li)想替代設(she)備。是(shi)利(li)用(yong)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)感應(ying)(ying)熔(rong)(rong)(rong)煉(lian)(lian)(lian)法(fa)，把(ba)坩堝封閉在(zai)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)室(shi)中(zhong)，利(li)用(yong)電磁(ci)感應(ying)(ying)產(chan)生的(de)(de)(de)渦流(liu)作(zuo)為熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)源，在(zai)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)或惰性氣體狀態下(xia)把(ba)合(he)金(jin)(或是(shi)導電材(cai)料)原料進(jin)(jin)行脫氣、熔(rong)(rong)(rong)化處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)，通(tong)過(guo)坩堝傾爐(lu)系統澆鑄，經過(guo)中(zhong)間包(bao)在(zai)水冷(leng)(leng)(leng)輥上急速凝固后形(xing)成薄(bo)片，再在(zai)水冷(leng)(leng)(leng)盤上進(jin)(jin)行慢速降溫，在(zai)撥鑿的(de)(de)(de)攪拌下(xia)，把(ba)合(he)金(jin)降到30℃左(zuo)右，形(xing)成大不(bu)薄(bo)厚均勻的(de)(de)(de)合(he)金(jin)薄(bo)片的(de)(de)(de)一(yi)種熔(rong)(rong)(rong)煉(lian)(lian)(lian)設(she)備。 　　熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)一(yi)般(ban)包(bao)括：加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)、保溫、冷(leng)(leng)(leng)卻三個過(guo)程，有(you)(you)時只有(you)(you)加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)與(yu)(yu)冷(leng)(leng)(leng)卻兩個過(guo)程。這些過(guo)程都(dou)是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)熔(rong)(rong)(rong)煉(lian)(lian)(lian)爐(lu)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)的(de)(de)(de)互相銜接(jie)，不(bu)可間斷。 　　加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)是(shi)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)中(zhong)重要工(gong)(gong)(gong)序之一(yi)，真(zhen)空(kong)(kong)(kong)熔(rong)(rong)(rong)煉(lian)(lian)(lian)爐(lu)對金(jin)屬(shu)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)的(de)(de)(de)加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)方(fang)法(fa)很(hen)多(duo)，早期是(shi)采用(yong)木炭和煤作(zuo)為熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)源，進(jin)(jin)而(er)使用(yong)液(ye)體與(yu)(yu)氣體燃料。電加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)易于控制，且(qie)無環(huan)境污染(ran);利(li)用(yong)這些熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)源可以(yi)的(de)(de)(de)直接(jie)加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)，也可以(yi)通(tong)過(guo)熔(rong)(rong)(rong)融的(de)(de)(de)鹽或是(shi)金(jin)屬(shu)，以(yi)至浮動粒子進(jin)(jin)行間接(jie)加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)。 　　此外，加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)溫度(du)是(shi)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)的(de)(de)(de)重要工(gong)(gong)(gong)藝(yi)參數之一(yi)，選擇(ze)和控制加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)溫度(du)是(shi)保證真(zhen)空(kong)(kong)(kong)燒(shao)結爐(lu)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)質量的(de)(de)(de)主要問題;加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)溫度(du)隨被處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)的(de)(de)(de)金(jin)屬(shu)材(cai)料和熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)(li)的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)不(bu)同而(er)異(yi)，但(dan)一(yi)般(ban)都(dou)是(shi)加(jia)(jia)熱(re)(re)(re)(re)(re)(re)到相變溫度(du)以(yi)上，以(yi)獲得高溫組(zu)織(zhi)。

　　不同(tong)(tong)(tong)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性能(neng)(neng)對(dui)(dui)比(bi)與(yu)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)作為(wei)材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)科(ke)學領域的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)，廣泛應用(yong)于(yu)(yu)(yu)薄膜制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)、涂層處理以(yi)及微電(dian)子(zi)制(zhi)(zhi)(zhi)造等多(duo)個方面。隨(sui)著技術的(de)(de)(de)(de)(de)(de)不斷(duan)進(jin)(jin)(jin)步，市場(chang)上出(chu)現了(le)多(duo)種類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)，它(ta)們各(ge)自具有獨特(te)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性能(neng)(neng)特(te)點(dian)(dian)(dian)和(he)(he)(he)適(shi)用(yong)范圍。氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)廠家(jia)八佳電(dian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)將(jiang)對(dui)(dui)不同(tong)(tong)(tong)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性能(neng)(neng)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)對(dui)(dui)比(bi)，并探討在(zai)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)時(shi)(shi)需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)考慮的(de)(de)(de)(de)(de)(de)關鍵(jian)因素(su)(su)(su)。　　一(yi)、不同(tong)(tong)(tong)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性能(neng)(neng)對(dui)(dui)比(bi)　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)是(shi)在(zai)高(gao)(gao)(gao)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空環境(jing)下進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)。其優(you)點(dian)(dian)(dian)在(zai)于(yu)(yu)(yu)能(neng)(neng)夠(gou)制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)出(chu)高(gao)(gao)(gao)純度(du)、高(gao)(gao)(gao)質量的(de)(de)(de)(de)(de)(de)薄膜材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)，因為(wei)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空環境(jing)可(ke)以(yi)有效減(jian)少雜質和(he)(he)(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干擾。此外，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)通常具有較高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫度(du)控制(zhi)(zhi)(zhi)精度(du)和(he)(he)(he)均勻性，適(shi)用(yong)于(yu)(yu)(yu)制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)對(dui)(dui)純度(du)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)極(ji)高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)。然而，其缺點(dian)(dian)(dian)在(zai)于(yu)(yu)(yu)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)成(cheng)本(ben)(ben)較高(gao)(gao)(gao)，操作和(he)(he)(he)維(wei)(wei)(wei)護也(ye)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)復(fu)雜。　　常壓(ya)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)　　常壓(ya)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)是(shi)在(zai)大氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)環境(jing)下進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)。與(yu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)比(bi)，其設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)結構簡單(dan)，操作方便(bian)，成(cheng)本(ben)(ben)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)較低。常壓(ya)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)適(shi)用(yong)于(yu)(yu)(yu)制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)對(dui)(dui)純度(du)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)不太(tai)嚴格(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)，或者在(zai)一(yi)些(xie)(xie)特(te)定工藝中需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)在(zai)大氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)環境(jing)下進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)過程。然而，由于(yu)(yu)(yu)大氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)中雜質和(he)(he)(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)存在(zai)，制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)純度(du)可(ke)能(neng)(neng)較低。　　等離子(zi)體型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)　　等離子(zi)體型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)利用(yong)等離子(zi)體技術來加速氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體分子(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分解和(he)(he)(he)反應，從而實(shi)現效率高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)。其優(you)點(dian)(dian)(dian)在(zai)于(yu)(yu)(yu)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)速率快、薄膜質量高(gao)(gao)(gao)，特(te)別(bie)適(shi)用(yong)于(yu)(yu)(yu)制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)具有特(te)殊性能(neng)(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)涂層和(he)(he)(he)薄膜。然而，等離子(zi)體型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)結構相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)復(fu)雜，操作難度(du)較大，且(qie)對(dui)(dui)電(dian)源(yuan)和(he)(he)(he)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)較高(gao)(gao)(gao)。　　二(er)、氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)因素(su)(su)(su)　　材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)需(xu)求(qiu)(qiu)　　在(zai)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)時(shi)(shi)，首(shou)先要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)考慮所需(xu)制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)、純度(du)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)和(he)(he)(he)性能(neng)(neng)特(te)點(dian)(dian)(dian)。對(dui)(dui)于(yu)(yu)(yu)需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)高(gao)(gao)(gao)純度(du)材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)是(shi)更(geng)(geng)好(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)；而對(dui)(dui)于(yu)(yu)(yu)對(dui)(dui)純度(du)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)不太(tai)嚴格(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)制(zhi)(zhi)(zhi)備(bei)(bei)(bei)，常壓(ya)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)可(ke)能(neng)(neng)更(geng)(geng)為(wei)合適(shi)。　　工藝要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)　　不同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)適(shi)用(yong)于(yu)(yu)(yu)不同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工藝過程。在(zai)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)時(shi)(shi)，需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)根據具體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工藝要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)，如沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)速率、溫度(du)控制(zhi)(zhi)(zhi)精度(du)、氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)氛(fen)控制(zhi)(zhi)(zhi)等，來評估不同(tong)(tong)(tong)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)適(shi)用(yong)性。　　成(cheng)本(ben)(ben)考慮　　設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)成(cheng)本(ben)(ben)、運行(xing)(xing)(xing)成(cheng)本(ben)(ben)以(yi)及維(wei)(wei)(wei)護成(cheng)本(ben)(ben)也(ye)是(shi)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)時(shi)(shi)需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)考慮的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)因素(su)(su)(su)。不同(tong)(tong)(tong)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)在(zai)價格(ge)(ge)和(he)(he)(he)使用(yong)成(cheng)本(ben)(ben)上存在(zai)差異，需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)根據實(shi)際情況進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)權(quan)衡。　　操作與(yu)維(wei)(wei)(wei)護便(bian)捷性　　設(she)(she)備(bei)(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)操作便(bian)捷性和(he)(he)(he)維(wei)(wei)(wei)護方便(bian)性也(ye)是(shi)影響選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)因素(su)(su)(su)。一(yi)些(xie)(xie)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)雖然性能(neng)(neng)優(you)越(yue)，但操作復(fu)雜、維(wei)(wei)(wei)護困難，可(ke)能(neng)(neng)會增加使用(yong)成(cheng)本(ben)(ben)和(he)(he)(he)時(shi)(shi)間成(cheng)本(ben)(ben)。因此，在(zai)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)時(shi)(shi)也(ye)需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)考慮這些(xie)(xie)因素(su)(su)(su)。　　綜(zong)(zong)上所述，不同(tong)(tong)(tong)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)具有各(ge)自獨特(te)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性能(neng)(neng)特(te)點(dian)(dian)(dian)和(he)(he)(he)適(shi)用(yong)范圍。在(zai)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)時(shi)(shi)，需(xu)要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)根據材(cai)(cai)(cai)(cai)料(liao)(liao)需(xu)求(qiu)(qiu)、工藝要(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)、成(cheng)本(ben)(ben)考慮以(yi)及操作與(yu)維(wei)(wei)(wei)護便(bian)捷性等因素(su)(su)(su)進(jin)(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)綜(zong)(zong)合評估，以(yi)選(xuan)(xuan)(xuan)(xuan)擇(ze)適(shi)合的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)類(lei)(lei)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)。