国产成A人片在线观看视频下载_777米奇色狠狠888俺也去_亚洲精华国产精华精华液网站_影视先锋AV资源噜噜

行業動態

聚焦行業動態，洞悉行業發展

氣相沉積爐的結構及工作原理
發布時間：2022-08-07   瀏覽：1715次

　　氣相(xiang)沉積爐的結構及工作原(yuan)理(li)

　　氣相沉積爐（Gas Phase Deposition Furnace）是一(yi)種用(yong)于(yu)材料薄膜生長的(de)實驗設備，常(chang)用(yong)于(yu)半導(dao)體、光(guang)電子、納(na)米科(ke)技等領域。下面是氣相沉積爐的(de)基本結(jie)構(gou)和工作原理的(de)簡要說明：

　　氣相沉積(ji)爐結(jie)構(gou)：

　　氣相沉積爐通(tong)常(chang)由以下幾(ji)個主要組成部分構成：

　　1.反應室（Reaction Chamber）：用于放置材料(liao)襯底（Substrate）以及執行反應的區(qu)域(yu)。反應室通常是一個密封(feng)的金屬(shu)腔體，具有高溫(wen)抗腐蝕性能。

　　2.加(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)系統（Heating System）：用于提供反應室內的(de)(de)高溫環境(jing)。加(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)系統通(tong)常采用電阻加(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)或感應加(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)的(de)(de)方式，通(tong)過加(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)元件（比(bi)如加(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)線圈）提供熱(re)(re)源。

　　3.氣(qi)體(ti)供應系(xi)統（Gas Supply System）：用于控(kong)制(zhi)和提供反應室(shi)內(nei)所需(xu)的氣(qi)體(ti)混合物。氣(qi)體(ti)供應系(xi)統通常包(bao)括(kuo)多個(ge)氣(qi)體(ti)進口、流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器和混合裝置(zhi)等。

　　4.排氣(qi)系(xi)(xi)統（Exhaust System）：用于排除反(fan)應(ying)室(shi)內產生的廢氣(qi)和雜(za)質。排氣(qi)系(xi)(xi)統通(tong)常包(bao)括真空(kong)泵和廢氣(qi)處(chu)理裝置(zhi)等(deng)。

　　5.控制(zhi)系(xi)統(tong)（Control System）：用于對(dui)爐子的溫度、氣體(ti)流(liu)量等參數進行實時監控和調節(jie)。

　　氣相沉積(ji)爐(lu)工作原理：

　　氣(qi)相沉積爐(lu)的(de)工作原理是利用熱(re)分解(jie)或化(hua)學反應將氣(qi)體(ti)源中的(de)原料分子在高溫環境下(xia)轉化(hua)為可(ke)沉積的(de)材(cai)料薄膜。具體(ti)步驟如下(xia)：

　　1.襯(chen)底放置：將待(dai)生長的(de)襯(chen)底放置在反應(ying)室中的(de)加(jia)熱區域，通(tong)常通(tong)過夾持(chi)裝置固(gu)定(ding)。

　　2.加熱預處理：加熱系統提供(gong)熱源，將反應室內的(de)溫度升至所需的(de)生長溫度。此過(guo)程(cheng)通常在惰(duo)性氣氛下進行，以排除氧氣和其他雜質。

　　3.氣(qi)體供應(ying)和(he)反應(ying)：氣(qi)體供應(ying)系統控制并提供所需的氣(qi)體混合物(wu)，其通過進入反應(ying)室(shi)與襯底表面發生化學反應(ying)或熱分解，產生可沉積的物(wu)種(zhong)。

　　4.材(cai)料沉積：沉積物種在襯底表面吸附并(bing)形成一層薄膜。其形貌、結構和(he)性質可(ke)通(tong)過控制溫(wen)度、氣體流(liu)量和(he)沉積時(shi)間等參(can)數來調節。

　　5.冷(leng)卻和取出：完成材料沉積后，可(ke)(ke)關(guan)閉氣體供(gong)應和加熱系統(tong)，讓襯(chen)底緩(huan)慢冷(leng)卻。待(dai)冷(leng)卻至(zhi)安全溫度后，可(ke)(ke)以取出生長的薄膜。

　　需(xu)要注意的(de)是，具體的(de)氣(qi)相(xiang)沉積爐工作原(yuan)理會(hui)因(yin)不同類型的(de)沉積方(fang)法（如化學氣(qi)相(xiang)沉積、物(wu)理氣(qi)相(xiang)沉積等）和(he)(he)所(suo)研究(jiu)的(de)材料而有所(suo)不同。上述僅為一(yi)般的(de)工作原(yuan)理示意，實際操作中需(xu)根據具體情況進行(xing)參數(shu)調節和(he)(he)設備操作。


免責聲明：本(ben)站(zhan)部分圖(tu)片和文字來源(yuan)于網絡收集整理，僅供(gong)學習交流，版權(quan)歸原(yuan)作(zuo)者所有(you)，并不代表我站(zhan)觀點(dian)。本(ben)站(zhan)將不承(cheng)擔任(ren)何(he)法律責(ze)任(ren)，如果有(you)侵犯到(dao)您(nin)的(de)權(quan)利，請及(ji)時聯(lian)系(xi)我們(men)刪除。

相關推薦

12 June 2020
真空燒結爐的基本參數是什么

真空燒結爐的基本參數是什么

　　真空燒(shao)結(jie)爐(lu)(lu)(lu)的基本參數是(shi)什么 　　真空燒(shao)結(jie)爐(lu)(lu)(lu)主要用(yong)(yong)于高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)耐(nai)火材料(liao)、高(gao)(gao)(gao)純氧化(hua)鋁(lv)陶瓷制品、高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)稀土等材料(liao)的高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)燒(shao)成采(cai)用(yong)(yong)高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)調速燒(shao)嘴(zui)，1600℃剛玉耐(nai)火材料(liao)爐(lu)(lu)(lu)襯(chen)結(jie)合(he)1800℃多(duo)(duo)晶莫來石(shi)纖(xian)維棉(mian)，zui高(gao)(gao)(gao)使(shi)用(yong)(yong)溫(wen)(wen)(wen)度1600℃，采(cai)用(yong)(yong)電子點，高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)助燃(ran)機構(gou)，半自動控(kong)溫(wen)(wen)(wen)。 　　通(tong)常(chang)真空燒(shao)結(jie)爐(lu)(lu)(lu)它的主要技術參數： 　　1.爐(lu)(lu)(lu)膛有(you)效體(ti)積：2-40立方米; 　　2.爐(lu)(lu)(lu)體(ti)結(jie)構(gou)：窯車式; 　　3.爐(lu)(lu)(lu)襯(chen)材料(liao)：氧化(hua)鋁(lv)纖(xian)維棉(mian)(剛玉莫來石(shi)磚(zhuan))結(jie)合(he)多(duo)(duo)晶莫來石(shi)纖(xian)維棉(mian); 　　4.輸入(ru)氣壓(ya)：5-30kp可調; 　　5.zui高(gao)(gao)(gao)使(shi)用(yong)(yong)溫(wen)(wen)(wen)度：1600℃; 　　6.加熱方式：真空燒(shao)結(jie)爐(lu)(lu)(lu)采(cai)用(yong)(yong)熱風(feng)助燃(ran)，兩(liang)側爐(lu)(lu)(lu)墻; 　　7.燒(shao)嘴(zui)數量：3-8對，高(gao)(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)調速燒(shao)嘴(zui); 　　8.控(kong)溫(wen)(wen)(wen)方式：pid比例調節控(kong)制，電子點火，升溫(wen)(wen)(wen)曲線可調，溫(wen)(wen)(wen)度可調、熄火報警(jing)、燃(ran)氣泄(xie)漏報警(jing)等優越性能; 　　9.控(kong)溫(wen)(wen)(wen)精度：±1℃; 　　另(ling)外，大(da)家(jia)需要知道的是(shi)有(you)關真空甩帶爐(lu)(lu)(lu)動力排煙(yan)或煙(yan)囪自然(ran)排煙(yan)，余熱利用(yong)(yong)。

21 August 2023
真空熔煉爐的安裝調試流程

真空熔煉爐的安裝調試流程

　　真空(kong)熔煉爐是(shi)一種高溫設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)，安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)調(diao)(diao)(diao)(diao)試(shi)(shi)(shi)(shi)非(fei)常重要。以(yi)下是(shi)一般真空(kong)熔煉爐安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)調(diao)(diao)(diao)(diao)試(shi)(shi)(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)程(cheng)：　　1.設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)準(zhun)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)：確(que)認(ren)所有設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)和(he)(he)(he)(he)零(ling)部(bu)件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)完整(zheng)(zheng)性和(he)(he)(he)(he)質量。檢查(cha)是(shi)否有任何損(sun)壞或缺(que)失，并(bing)確(que)保(bao)(bao)所有配件符合規格(ge)要求(qiu)(qiu)。　　2.環境準(zhun)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)：選擇適(shi)當的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)置(zhi)安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)熔煉爐，確(que)保(bao)(bao)有足(zu)夠的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)間(jian)。檢查(cha)地面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)平(ping)整(zheng)(zheng)度(du)(du)和(he)(he)(he)(he)穩定性，以(yi)確(que)保(bao)(bao)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)安(an)(an)(an)(an)全(quan)放(fang)置(zhi)。　　3.安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)熔煉爐：按照(zhao)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)制造商提(ti)供(gong)(gong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)圖(tu)紙和(he)(he)(he)(he)說(shuo)明書進(jin)(jin)(jin)行(xing)熔煉爐的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)組裝(zhuang)和(he)(he)(he)(he)安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)。確(que)保(bao)(bao)所有連接部(bu)件和(he)(he)(he)(he)管道(dao)正(zheng)(zheng)確(que)安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)，緊固(gu)牢(lao)固(gu)。　　4.連接電(dian)源和(he)(he)(he)(he)能(neng)(neng)源：根(gen)據(ju)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)要求(qiu)(qiu)連接電(dian)源和(he)(he)(he)(he)能(neng)(neng)源供(gong)(gong)應。確(que)保(bao)(bao)電(dian)源和(he)(he)(he)(he)能(neng)(neng)源的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)穩定和(he)(he)(he)(he)可(ke)靠(kao)性，并(bing)遵(zun)守相(xiang)應的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)氣(qi)(qi)安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)標(biao)準(zhun)。　　5.密(mi)封(feng)(feng)測試(shi)(shi)(shi)(shi)：進(jin)(jin)(jin)行(xing)密(mi)封(feng)(feng)測試(shi)(shi)(shi)(shi)，驗(yan)(yan)證熔煉爐的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)真空(kong)密(mi)封(feng)(feng)性能(neng)(neng)。使用真空(kong)泵(beng)和(he)(he)(he)(he)儀器(qi)(qi)(qi)進(jin)(jin)(jin)行(xing)測試(shi)(shi)(shi)(shi)，并(bing)確(que)保(bao)(bao)系(xi)統無泄漏。　　6.通(tong)電(dian)試(shi)(shi)(shi)(shi)運(yun)(yun)行(xing)：通(tong)電(dian)試(shi)(shi)(shi)(shi)運(yun)(yun)行(xing)前，檢查(cha)所有電(dian)氣(qi)(qi)和(he)(he)(he)(he)控制系(xi)統的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)連接是(shi)否正(zheng)(zheng)確(que)。按照(zhao)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)制造商的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求(qiu)(qiu)進(jin)(jin)(jin)行(xing)試(shi)(shi)(shi)(shi)運(yun)(yun)行(xing)，并(bing)檢查(cha)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)各(ge)部(bu)分(fen)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)工作(zuo)(zuo)(zuo)狀態。　　7.溫度(du)(du)控制調(diao)(diao)(diao)(diao)試(shi)(shi)(shi)(shi)：根(gen)據(ju)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)規格(ge)和(he)(he)(he)(he)工藝要求(qiu)(qiu)，對溫度(du)(du)控制系(xi)統進(jin)(jin)(jin)行(xing)調(diao)(diao)(diao)(diao)試(shi)(shi)(shi)(shi)。確(que)保(bao)(bao)溫度(du)(du)傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)和(he)(he)(he)(he)控制器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)準(zhun)確(que)性和(he)(he)(he)(he)穩定性。　　8.安(an)(an)(an)(an)全(quan)防護設(she)(she)(she)(she)施：安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)必(bi)(bi)要的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)安(an)(an)(an)(an)全(quan)裝(zhuang)置(zhi)和(he)(he)(he)(he)防護設(she)(she)(she)(she)施，如(ru)溫度(du)(du)報警器(qi)(qi)(qi)、氣(qi)(qi)體傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)、急停(ting)按鈕等。確(que)保(bao)(bao)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)在操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)過程(cheng)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)安(an)(an)(an)(an)全(quan)性。　　9.運(yun)(yun)行(xing)參數測試(shi)(shi)(shi)(shi)：根(gen)據(ju)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)要求(qiu)(qiu)和(he)(he)(he)(he)工藝流(liu)程(cheng)，進(jin)(jin)(jin)行(xing)運(yun)(yun)行(xing)參數測試(shi)(shi)(shi)(shi)。測試(shi)(shi)(shi)(shi)包(bao)括(kuo)加熱速率(lv)、升溫時(shi)間(jian)、真空(kong)度(du)(du)等，以(yi)確(que)保(bao)(bao)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)能(neng)(neng)夠滿足(zu)工藝要求(qiu)(qiu)。　　10.系(xi)統驗(yan)(yan)證和(he)(he)(he)(he)調(diao)(diao)(diao)(diao)整(zheng)(zheng)：對整(zheng)(zheng)個(ge)系(xi)統進(jin)(jin)(jin)行(xing)驗(yan)(yan)證和(he)(he)(he)(he)調(diao)(diao)(diao)(diao)整(zheng)(zheng)。檢查(cha)各(ge)個(ge)部(bu)件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)協調(diao)(diao)(diao)(diao)工作(zuo)(zuo)(zuo)和(he)(he)(he)(he)性能(neng)(neng)表現，并(bing)進(jin)(jin)(jin)行(xing)必(bi)(bi)要的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)調(diao)(diao)(diao)(diao)整(zheng)(zheng)和(he)(he)(he)(he)修正(zheng)(zheng)。　　11.培訓和(he)(he)(he)(he)操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)手冊(ce)：為操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)(ren)員提(ti)供(gong)(gong)適(shi)當的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)培訓，確(que)保(bao)(bao)他們(men)了解(jie)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)流(liu)程(cheng)和(he)(he)(he)(he)安(an)(an)(an)(an)全(quan)注意事項。提(ti)供(gong)(gong)詳細的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)手冊(ce)，便于操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)(ren)員參考。　　請注意，在安(an)(an)(an)(an)裝(zhuang)和(he)(he)(he)(he)調(diao)(diao)(diao)(diao)試(shi)(shi)(shi)(shi)過程(cheng)中(zhong)，務必(bi)(bi)遵(zun)守相(xiang)關法規和(he)(he)(he)(he)安(an)(an)(an)(an)全(quan)標(biao)準(zhun)，確(que)保(bao)(bao)操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)(ren)員和(he)(he)(he)(he)設(she)(she)(she)(she)備(bei)(bei)(bei)(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)安(an)(an)(an)(an)全(quan)。